半导体先进工艺装备研发与产业化项目
半导体先进工艺装备研发与产业化项目是位于上海市浦东新区的设备材料元器件类前期工程项目（编号 ZCPRO328617303），目前处于其他阶段，计划2026-07-17开工、2028-01-08竣工。
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简讯基本信息
- 版本类型
- 版本1
- 发布时间
- 2026-05-18
- 项目阶段
- 其他
- 工程类型
- 新建
- 所属行业
- 设备材料元器件
- 所属专题
- 芯片半导体
- 建筑面积
- 待确认
- 开工时间
- 2026-07-17
- 竣工时间
- 2028-01-08
- 所在省市
- 上海市浦东新区
- 项目地址
- 浦东新区泥城****** 登录可查看完整内容
建设内容
报批前公示
公示日期
2023-07-04至2023-07-11
项目名称
半导体先进工艺装备研发与产业化项目
项目名称
半导体先进工艺装备研发与产业化项目
建设地点
浦东新区泥城镇浦东新区泥城镇J07-04B地块内，项目四至范围：东至小泐港西侧绿化带，西至马五公路东侧约180m， 南至飞舟路，北至江山路南侧约220m
所属行业
专用设备制造业
项目内容
建设单位名称
拓荆科技（上海）有限公司
建设单位地址
浦东新区泥城镇J07-04B地块内，项目四至范围：东至小泐港西侧绿化带，西至马五公路东侧约180m， 南至飞舟路，北至江山路南侧约220m
建设单位联系人
柳健
联系电话
138********
电子邮箱
807147568@qq.com
传真
60581568-2020
环评机构名称
上海化工研究院有限公司
项目基本信息
环评批文日期
2023-09-13
项目名称
半导体先进工艺装备研发与产业化项目
项目名称
半导体先进工艺装备研发与产业化项目
建设单位
拓荆科技（上海）有限公司
所属行业
专用设备制造业
建设地点
浦东新区临港浦东新区泥城镇 J07-04B 地块内
项目基本信息
本项目建设包括两部分内容：
①外购零部件，人工组装半导体生产用到的 ALD薄膜设备、CVD 等离子设备等，物理检测后出厂，不涉及电镀、喷漆及焊接工艺；
②利用自厂组装的 ALD 薄膜设备、CVD 等离子设备等开展薄膜沉积工艺的研发，
获得薄膜沉积参数的最优解。
项目建成后，年产 ALD 薄膜设备、CVD 等离子设备等合计 376 台／年；工艺研发实验（固定研发机台）使用硅片 31500 片／年。年工作时间 300 天，白班制工
作，其中研发测试为 24h 运行。
设计单位
大连凯杰建设有限公司
计划开工日期
2023-09-20
环评项目登记号
-
环评批文文号
沪自贸临管环保许评[2023]84号
环评批文日期
2023-09-13
联系人
刘雷
联系电话
137********
电子邮箱
807147568@qq.com
建设期
实际开工日期
2023-09-20
实际开工日期
2023-09-20
实际开工日期
2023-09-20
施工期环保措施落实情况（pdf）
环保措施落实情况.pdf
下载
施工期环境监测结果（pdf）
竣工及调试期
开始调试日期
2025-10-21
开始调试日期
2025-10-21
竣工日期
2025-10-20
开始调试日期
2025-10-21
联系人
刘工
联系电话
605********
非重大调整报告（pdf）
环保措施落实情况（pdf）
环保竣工公示.pdf
下载
竣工环保验收
公示起始日期
2026-05-18
公示起始日期
2026-05-18
公示起始日期
2026-05-18
验收监测（调查）报告（pdf）
验收监测报告——拓荆--2026.2-公示稿.pdf
下载
验收意见（pdf）
2.竣工验收意见.pdf
下载
其他需要说明的事项（pdf）
3.其他说明事项.pdf
下载
前期工作进展
- 立项审批
- 进行中
- 项目设计
- 设计单位未确定
- 主体施工/主设备安装
- 主体施工单位未确定
- 工程分包
- 未能获取分包详情
项目详细介绍
项目概况
本项目「半导体先进工艺装备研发与产业化项目」位于上海市浦东新区，属于设备材料元器件类前期工程项目，所属芯片半导体专题，工程类型为新建。
建筑面积待确认，目前处于其他阶段，预计2026-07-17开工、2028-01-08竣工。
版本类型 版本1；发布于 2026-05-18。
前期工作进展
立项审批：进行中；项目设计：设计单位未确定；主体施工/主设备安装：主体施工单位未确定；工程分包：未能获取分包详情。
参建单位与信息说明
该项目已录入相关单位 1 家，按角色分布为业主单位 1 家。
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主要采购设备
完整设备清单，登录可查看
参建单位与联系人
完整单位名称、联系人及联系方式，登录可查看
